LCD장비

반도체의 국산화·신기술의 사업화·연구생산성 향상

LCD장비

TFT-LCD INDEXER

LCD공정 전반에 걸쳐 Panel을 Cassette에서 LCD Panel을 공정 장비로 Loading하거나, Cassette로 Unloading 하기 위한 설비입니다.
SPECIFICATION
  • Single Arm Robot Double Arm Robot 적용
  • Cassette를 AGV 또는 MGV로 적치 가능한 2식 또는 4식의 Cassette Stage
  • 기판 Search 기능(Glass Mapping Device or Elevator)
  • 비접촉식 Alignment 기능(Mechaless alignment)
  • Bar Code or RFID Reader
  • AGV Communication
  • Ionizing System
  • FFU(Fan Filter Unit)
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