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반도체의 국산화·신기술의 사업화·연구생산성 향상
LCD장비
TFT-LCD INDEXER
LCD공정 전반에 걸쳐 Panel을 Cassette에서 LCD Panel을 공정 장비로 Loading하거나, Cassette로 Unloading 하기 위한 설비입니다.
SPECIFICATION
Single Arm Robot Double Arm Robot 적용
Cassette를 AGV 또는 MGV로 적치 가능한 2식 또는 4식의 Cassette Stage
기판 Search 기능(Glass Mapping Device or Elevator)
비접촉식 Alignment 기능(Mechaless alignment)
Bar Code or RFID Reader
AGV Communication
Ionizing System
FFU(Fan Filter Unit)
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