자동제어 및 FFU 장치

클린룸 자동제어 시스템과 FFU(Fan Filter Unit) 등,
반도체·디스플레이 공정 환경을 정밀 제어하는 장비 라인업입니다.

크린룸감시제어시스템

Fan Filter Unit

PWM 시리즈

LCU 시리즈

전체 제품 라인업 및 상세 스펙 자료는 준비 중입니다. 특정 제품이 급하게 필요하신 경우 기술문의 또는 대표전화(042-601-4500)로 문의해 주세요.