크린룸 감시제어시스템

시스템 개요

반도체 Clean Room의 청정 상태를 유지하는 데 사용되는 FFU(Fan Filter Unit) 장비를 Local 또는 Remote로 감시 및 제어하는 시스템입니다.

FFU가 설치된 구역의 운전 상태를 유선통신으로 감시반에서 신속·정확하게 파악하고, 알람 발생 시 운전자에게 즉시 알려 넓은 구역의 청정 상태를 적은 인원으로도 유지할 수 있도록 합니다.

시스템 구성

HCU(상위 PC) + RCU/MCU Rack(다중 채널) + LIU(FFU 제어기) 3단 구조

통신 방식

RS232C → Converter → RS485 (HCU ↔ Rack), RS485 (Rack ↔ LIU)

랙 구성

RCU/MCU Rack을 다중 채널(CH 1~CH n)로 확장 구성, 랙 단위로 그룹 관리

수용 규모

RS485 1개 채널당 최대 64대 LIU 연결

블루코드의 강점

• 클린룸감시제어시스템에 대한 축적된 Know-How
• 다양한 모델 보유로 거래선 요구에 신속히 대응
• 과거 10년간 삼성, LG, 하이닉스 등 Major 업체에 공급으로 반도체 및 LCD 공장의 개보수, 신규라인 증설에 유연하게 대응

크린룸 FFU 감시제어시스템

HCU(상위 PC)에서 Converter를 거쳐 다수의 RCU/MCU로 연결되고, 각 RCU/MCU는 채널(CHANNEL 1, CHANNEL 2…) 단위로 다수의 LCU(FFU 제어기)를 그룹 제어하는 구성입니다.

크린룸 EFU 감시제어시스템

HCU(상위 PC)에서 Converter를 거쳐 MCUL_PC / MCUL_PWM / MCUL_BLDC 제어반(20EA)으로 연결되고, 각 제어반이 다수의 BLDC 모터 제어기를 직접 구동·감시하는 MCUL 감시제어 구성입니다.